可进行去胶渣、表面清洁、活化、改善、接枝或粗糙化等
产品特点
高密度等离子源，等离子效率高，减少制程时间
专利设计之特殊等离子电*
特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计
处理之均匀性佳
等离子均匀性佳
可使用多种制程气体
全自动且容易操作
设备稳定高，容易维护
可根据客户需求设计专用特殊规格之机台
中国台湾Creating Nano佳武自营旗舰店
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