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产品描述
馗鼎纳米科技以数十年优越的等离子设备制造能力结合等离子源及电源供应器设计、等离子诊断技术、设备自动化推出智能电晕*化设备POL-57A为批次式等离子*化设备适用于处理压电薄膜*化制程，搭配人机接口容易操作、具有抑制电弧能力、智能制程诊断功能。
产品特点
可搭配机械手臂自动取放片
*键全自动操作，效能更稳定
可编程且模块化流程设定： 设备动作及制程参数设定容易，研发或生产皆宜
获多项专利的智能制程： 加装多项传感器实时监控制程数据，以便纪录制程稳定性、异常预测、等