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多探针真空量测： 可选配2至4组可微调探针座，电缆接头可选择BNC或triaxial等形式。样品载台直径可至2英寸，腔体真空度可选择*般真空度（5×10-3 Torr）以及高真空（1×10-6 Torr）。探针X-Y-Z三方向微调，行程：6.5 mm，定位精度：10 μm。并搭配CCD进行下针及微调。
In situ等离子处理装置： 特殊探针收回机构设计，多次量测之间可进行等离子处理程序，针对样品进行表面等离子改质/清洁，不须破真空使得量测样品接触大气而产生影响。可选配RF/DC/MF generator。
光感测： 腔体上方透明视窗采用石英玻璃，可搭配光学系统进行光感测元件之量测。
特定气体感测： 特定气体可透过质流控制器（Mass flow controller, MFC）或浮子流量计进行流量控制。
湿气感测、有机蒸气感测： 可选配特殊液态蒸气导入装置设计，可控制导入腔体之蒸气流量，进而换算液态蒸气之感测浓度。
低温量测（300K~20K）： 选配闭循环低温制冷系统，可达20K之低温环境，并透过PID系统进行连续式控温。高温选配需求可达500K、低温选配需求可达10K